Punktdefekte und Partikel

• auf Gläsern
• Einlagerungen in Ni-Legierungen
• Fremdpartikel in Pulvern
• Analyse von Einzelpartikel in Filterstäuben
• Aerosole

Beispiel 1: Punktdefekte auf Laser-Spiegel

Problemstellung:
Vergleichende massenspektrometrische Analyse zur Identifizierung schleierförmiger Mikroflecken unterschiedlicher Flächengeometrie auf der Oberfläche eines Laserspiegels. Überprüfung der Schichtfolge auf eventuelle Beläge an den Grenzflächen der einzelnen Layer.
Man findet runde trichterförmig aussehende Stellen, an deren Rand neben Na,K,Ca auch Ge-Oxid gefunden wird./1
In anderen markierten Zonen werden unterschiedliche Beläge detektiert: es gibt deutlich dunkle schollenförmige Gebiete mit der Schichtfolge: Ge-ZnS-Au, während man außerhalb der schleierförmigen Mikrozonen (5-50µ Durchmesser und einige Nanometer dick) erwartungsgemäß => Ge-ZnS-CrNi-Au findet. /3
Im äußeren Randbereich gibt es daneben sichelförmige Gebiete, in dem Sn und organische Oberflächen-kontaminationen aliphatischer Kohlenwasserstoffe (Ölreste) auftreten. /2

Abb.1+2

Abb.3

Beispiel 2: Analyse von Oberflächenbelägen

Massenspektrometrische Analyse zur Identifizierung eines dünnen Belags auf Leiterplatten

Man findet Sn und Pb, Verbindungen von Ca: CaOH, Ca-Stearat-Fragmentionen und teilweise Massenlinien organischer Herkunft, die mit dem ebenfalls untersuchten Flußmittel übereinstimmen.

1- Ca-Verbindungen (-carbonat, evtl auch SOx)
2- Ca-Stearatfragmente (m/z: 59-118-134-267-305-...)
3- Aminoverbindungen (evtl. von Flußmittelrückständen, Lötmittel)
4- SnPb- vermutlich Legierungsbestandteile von Lötmitteln

Abb.: untersuchte Stellen des Belags am Cu-Netz

Weitere Verfahren stehen nach Bedarf zur Verfügung. Bitte nehmen Sie Kontakt zu uns auf, falls Sie Fragen haben. Wir helfen Ihnen jederzeit gern weiter und informieren Sie genauer über die verschiedenen Verfahrensarten und Vorgehensweisen.

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