Beispiel für SNMS

Quantitative Tiefenprofil-Analyse von Au/Pt/Ti/TiC/SiC-Schichten auf GaAs mit der Sekundärneutralteilchenmassenspektrometrie SNMS/INA

Problemstellung:
Massenspektrometrische Analyse Au-Pt- Sputterschichten auf GaAs zur Ermittlung evtl. Pt-Diffusion

Ausführung:
Aufnahme von Intensitäts-Zeitprofilen der Elemente C, Si, Ti, Ga, As, Au und Pt. Bei der Auswertung wurde kein Untergrundabzug berücksichtigt

Arbeitsparameter:
P (Ar-Plasma): 2x10^-3mbar, erodierter Krater: 2mm Durchm., Sputterspannung: 270V

Ergebnisse:
Ein Vergleich mehrerer Tiefenprofile zeigt, daß bei 300°C keine Diffusion von Au stattfindet.
Bezüglich des Musters LF3 stellt man fest, daß hier Au im Pt vorhanden ist aber nicht umgekehrt.
Ein leicht erhöhter C-Anteil wird im Ti beobachtet. Die jeweiligen Schichtdicken wurden aus den Sputterrarten nach mechanischer Ausmessung der erodierten Krater ermittelt.

Weitere Verfahren stehen nach Bedarf zur Verfügung. Bitte nehmen Sie Kontakt zu uns auf, falls Sie Fragen haben. Wir helfen Ihnen jederzeit gern weiter und informieren Sie genauer über die verschiedenen Verfahrensarten und Vorgehensweisen.

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